Techniques innovantes pour la caractérisation optique microstructurale de couches minces

Épuisé

Dans des couches minces ou très minces, la caractérisation de la porosité, d’hétérogénéités ou de gradients, est un problème important et complexe, tant sur le plan théorique que pour des aspects plus technologiques concernant des applications en microélectronique, pour les revêtements, les membranes, les capteurs, l’étude de l’altération des surfaces… Cet ouvrage fait le point sur les différentes techniques utilisées pour caractériser ces couches et qui sont basées sur l’analyse des interactions entre la matière et un faisceau électromagnétique ou neutronique, telles l’ellipsométrie, la réflectométrie optique, des rayons X, des neutrons…